Описание
Автоматизираните и Процес станции на Милара са системи за среда от клас 1, предназначена да увеличи максимално производителността на инструментите за обработка на полупроводници, които изискват най-високо ниво на автоматизация. Портът за зареждане е модулен и може безпроблемно да се интегрира към...