Сортери за силициеви пластини

silicon wafer sorter
silicon wafer sorter
silicon wafer sorter
silicon wafer sorter
Описание

Най-новото поколение високопроизводителна платформа за сортиране на силициеви пластини от Milara Inc. Тя извежда на пазара иновативни и напълно автоматизирани касетъчни станции, които осигуряват цялостна система от зареждане на нови субстрати до пренасяне на обработени субстрати без прекъсване на цикъла на робота. Това позволява несравнима производителност на обработка от повече от 220 пластини на час. Модулният дизайн позволява обработка на до 20 носителя едновременно и централно място в системата е двураменният робот Diamond H4 на Milara за бърза смяна на пластини. Крайните ефектори на робота включват интегрирани сензори за бързо и надеждно картографиране на пластини, отчитане на заети или празни слотове и идентифициране на кръстосани субстрати. Напълно интегрирани компоненти за прецизна работа със силициеви пластини включват автономно предварително подравняване с точност 25 микрона, OCR за надеждно проследяване на идентификационните номера от двете страни на субстрата и изключително точни цифрови везни, способни да измерват пластина за половин секунда с точност до 1 милиграм. Всички компоненти на системата са съвместими с клас 1 и тихият вентилаторен филтър, вграден в мини-средата, осигурява ламинарен поток за максимална чистота.