Малки системи за обработка на силициеви пластини

silicon wafer handler
silicon wafer handler
silicon wafer handler
silicon wafer handler
silicon wafer handler
silicon wafer handler
Описание

Милара непрекъснато предоставя на клиентите персонализирани решения за манипулиране на силициеви пластини  с размери от 50 до 300 мм. Нашите авангардни технологии, изключително надеждни и уникални продукти предлагат най-добрите решения за изискванията на вашето полупроводниково оборудване.

Спецификация
  • Equipped with Diamond Single arm or Dual arm wafer handling robots
  • Equipped with Diamond prealigner for precision alignment
  • Universal System compatible from 2”-12” wafer applications
  • Compact footprint to accommodate expensive fab space
  • Interlock access door
  • Options to include accessories such as Wafer ID reader, Wafer flipping station, Signal tower, EMO Button, Fan filter unit, etc.
  • High reliability and low particle generation