Категория:
Описание
Милара непрекъснато предоставя на клиентите персонализирани решения за манипулиране на силициеви пластини с размери от 50 до 300 мм. Нашите авангардни технологии, изключително надеждни и уникални продукти предлагат най-добрите решения за изискванията на вашето полупроводниково оборудване.
Спецификация
- Equipped with Diamond Single arm or Dual arm wafer handling robots
- Equipped with Diamond prealigner for precision alignment
- Universal System compatible from 2”-12” wafer applications
- Compact footprint to accommodate expensive fab space
- Interlock access door
- Options to include accessories such as Wafer ID reader, Wafer flipping station, Signal tower, EMO Button, Fan filter unit, etc.
- High reliability and low particle generation