Автоматизираните и Процес станции на Милара са системи за среда от клас 1, предназначена да увеличи максимално производителността на инструментите за обработка на полупроводници, които изискват най-високо ниво на автоматизация. Портът за зареждане е модулен и може безпроблемно да се интегрира към OEM процесните инструменти. Милара EFEM могат да бъдат персонализирани, за да отговорят на изискванията за автоматизация на всяко производствено съоръжение за полупроводници, като се добавят станции като преалайнер и OCR. Възможност за работа с различни размери на силициеви пластини с от 1 до 4 порта за натоварване или персонализирани касети. Автоматизирани и Процес станции (EFEM) на Милара са изградени според изискванията на клиента, за да отговарят на специфични изисквания за системата и разположението на отделните модули.
- Интегриран дизайн за лесна настройка и инсталиране
- Сертификация на инструмент с висока скорост
- Отлична структурна издръжливост
- Адаптивен дизайн
- SEMI BOLTS интерфейс
- Съвместимост с чисти помещения от клас 1
- Напълно съвместим със стандартите SEMI
- Монтаж съобрацен с бързото и лесното сервизно обслужване
- Поддръжка за 200 мм и 300 мм силициеви пластини
- Конфигурация на 2,3 и 4 порта за зареждане
- Милара Diamond H3 & H4 роботи
- Независим от процеса модулен дизайн
- Специално разработен софтуер с интегрирано управление чрез рецепти
- Опционален интерфейс SECS/GEM
- Монитор и клавиатура с подвижно рамото от Ergotron
- Пълна гама от преалайнери и сензори за сканиране
- Надеждност на светлинната кула – MTBF > 60 000 часа, MCBF >10 000 000